SECS/GEM通信协议栈

行业:

半导体制造

厂商:

寄云科技

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SECS/GEM 通信协议栈

SECS/GEM 是采用跨平台技术的标准协议栈,实现了连接管理、事件收集、数据收集、警报、控制状态、设备终端服务、假脱机及消息日志等功能,全面支持 E5、E30、E37 等 SECS/GEM 协议以及 E39、E40、E94、E87、E90、E173 等 GEM300 协议,满足 APC、FDC 和 EAP 的高性能要求。



SECS/GEM 功能



事件收集

Host 可以通过事件收集跟踪设备的物料利用率、物料移动状态、设备状态等以及与发布的收集事件相关的其他内容,实现了:

  • Host 订阅事件报表(Event Report),并将其链接到收集事件
  • 生成事件报表:包含与收集事件关联的数据变量、状态变量及设备常量
  • Host 订阅/取消订阅相应的事件
  • 向 Host 发布订阅的事件



数据收集

  • 通过 S1F3/S1F4 轮询设备的数据值,用于特定时间点获取相应数值
  • 通过 S2F23/S2F24 设置定期采样信息(采样周期、样本数量、状态变量列表、总样本数及跟踪 ID)

警报

警报管理使设备能够在出错时通知 Host,并提供出错信息。

  • Host 可以 Enable/Disable 相应的警报
  • 当警报发生时,设备能够将警报通知给 Host



设备终端服务

协议栈支持操作员从设备与 Host 交换信息。

  • 接收 Host 信息,并在设备的显示设备上显示信息。
  • 设备的操作员向主机发送信息。

控制状态

实现了 Host 和设备之间的协作级别控制,以及操作员在不同级别的主机控制状态的交互操作。



假脱机

支持假脱机功能,设备可以在 communication 失败时,缓存发给 Host 的消息,并在通信恢复时,将缓存消息发送给 Host。



消息日志

支持按照 SECS 消息格式 SEMI - E173 标准,输出/记录 Host 与设备间交互的 SECS 消息,便于快速分析问题及故障诊断。



GEM300 功能

  • Carrier Management:支持对 Carrier 自动及手动操作的管理,包括:
    • Load Port 的装卸载
    • Load Port 预约
    • Carrier ID 及 Slot Map 验证
    • Carrier 相关的状态管理
    • Access Mode 切换
    • Carrier 与 Load Port 的关联等
  • Substrate Tracking:支持 substrate 对象及 substrate 位置的管理
  • Process Job Management:提供对物料处理过程的管理,包括指定物料处理的信息及处理过程的控制等
  • Control Job Management:结合 Process Job 实现对一组 Process Job 的统一处理。